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薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化
貸出可
-- サイエンス&テクノロジー -- 2008.7 -- 549.8
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状態
デジタル書庫リンク
自動書庫
★自動書庫
/549.8/SA17/
1004809057
一般図書
可能
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資料詳細
タイトル
薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化
出版者
サイエンス&テクノロジー
出版年
2008.7
ページ数
328p
大きさ
27cm
一般件名
薄膜
NDC分類(9版)
549.8
ISBN
4-903413-42-6
ISBN13桁
978-4-903413-42-6
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